Szczegóły Szczegóły PDF BIBTEX RIS Tytuł artykułu Indium-gallium-zinc oxide thin-film preparation via single-step radio frequency sputter deposition using mixed-oxide powder targets Tytuł czasopisma Archives of Electrical Engineering Rocznik 2023 Wolumin vol. 72 Numer No 2 Afiliacje Satake, Takahiko : Graduate School of Engineering Sojo University, Ikeda Nishi-ku Kumamoto City, Japan ; Kawasaki, Hiroharu : Department of Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Sasebo College, Okishin-machi, Sasebo City, Nagasaki Pref., Japan ; Aoqiu, Shin-Ichi : Graduate School of Engineering Sojo University, Ikeda Nishi-ku Kumamoto City, Japan Autorzy Satake, Takahiko ; Kawasaki, Hiroharu ; Aoqiu, Shin-Ichi Słowa kluczowe In–Ga–Zn–O thin-film ; plasma processes ; powder target ; sputtering deposition ; transparent conductive film Wydział PAN Nauki Techniczne Zakres 555-563 Wydawca Polish Academy of Sciences Data 2023.06.19 Typ Article Identyfikator DOI: 10.24425/aee.2023.145425 ; e-ISSN 2300-2506